Монокристаллический кремень (стр. 2 из 2)

механизмом вытягивающего устройства и контро-

лирует диаметр слитка путем изменения скорости вытягивания.Наиболее перспективными управляющими являються цифровые микропроцессорные системы.Они позволяют уменьшить непосредственное участие оператора в

процессе выращивания и дают возможность

организовать програмное управление многими этапами технологического процесса.

Схема установки для выращивания кристаллов.

1.затравочный шток 2.верхний кожух 3.изолирующий клапан

4.газовый вход 5.держатель затравки и затравка 6.камера

высокотемпературной зоны 7.расплав 8.тигель 9.выхлоп

10.вакуумный насос 11.устройство вращения и подъема тигля

12.система контроля и источник энергии 13.датчик температуры

14.пьедестал 15.нагреватель 16.изоляция 17.труба для продувки

18.смотровое окно 19.датчик для контроля диаметра растущего

слитка.

Список литературы:

1.Технология СБИС

под редакцией С.ЗИ.,МОСКВА”МИР”1986

2.Оборудование полупроводникового производства

Блинов,Кожитов,”МАШИНОСТРОЕНИЕ”1986

Учебно-исследовательская работа на тему :

“Выращивание монокристаллов методом

Чохральского”

ст.пр. Каменев А.Б.

студ.гр.Э-92 Васильев А.Е.

Москва,1996