Термосорбционный масс-спектрометр
Термосорбционный масс-спектрометр .
Анализ остаточных газов , присутствующих в вакуумных камерах , основанный на различиях в их теплотах адсорбции , называется термосорбционной масс-спектрометрией .
Для проведения анализа в камеру с исследуемым газом , имеющую обычный манометрический преобразователь , необходимо поместить прогреваемую прямым пропусканием электрического тока вольфрамовую нить , которая перед началом работы обезгаживается прогревом до 2500 К . После охлаждения на поверхности нити адсорбируются молекулы остаточных газов . Степень покрытия поверхности молекулами остаточных газов при
можно рассчитать по формуле 
(1) ,где
– парциальное давление 
– газа ; 
– время установления адсорбционного равновесия ; 
; 
; 
–среднее время нахождения молекулы в адсорбционном состояние ;
– теплота адсорбции – газа .Время
выбирают достаточным для того , чтобыэкспонентой в выражение ( 1 ) можно было пренебречь .Минимально необходимое время определяют экспериментально . При увеличение
выходной сигнал сначала линейно возрастает , а затем при 
принимает постоянное значение . В этом случае формулу ( 1 ) можно упростить : 
.При нагревании нити происходит десорбция поглощенных газов . При этом в камере , внутри которой находится нить и манометрический преобразователь , давление повысится на величину
, где 
– поверхность нити ; 
– число молекул , необходимых для мономолекулярного слоя – газа ; 
– объем камеры .Повышение давления
для газов с различной температурой адсорбции происходит при различных температурах нити , что и используется для определения состава и количества остаточных газов .Если адсорбирующую поверхность предварительно охладить до температуры жидкого азота , то можно провести анализ газов , имеющих малое значение теплоты адсорбции . На рис. 1 представлен пример масс-спектра , полученного термодесорбционным масс-спектрометром . Там же показано изменение температуры нити Т . Существенное отличие этого масс спектра от получаемых на ионизационных газоанализаторах состоит в том , что пики располагаются не в последовательности возрастания массовых чисел , а в порядке увеличения теплот адсорбции . Этим прибором хорошо разрешаются пики газов
и 
, имеющих одинаковое массовое число .При расшифровке масс-спектров смеси газов следует учитывать наличие на поверхности адсорбционных центров с различной теплотой десорбции . При этом каждый газ может иметь несколько термособционных пиков . для повышения чувствительности прибора следует увеличивать адсорбирующую поверхность , например путем нанесения активных адсорбентов или травления .
Рис1. Масс-спектр , получаемый методом термодесорбционной масс-спектрометрии
 |
