e – диэлектрическая проницаемость.
e=15,4
d – толщина слоя объемного заряда.
[d]=м.
N

– концентрация акцепторов.
[N

]=1,0

10

см

N

– концентрация доноров.
[N

]=1,0

10

см

V – напряжение.
[V]=0 В.
C

– барьерная емкость.
[C

]=Ф.

– удельная барьерная емкость.
[

]= Ф/м

m

– уровень Ферми.
[m

]=Дж или эВ.
1. Расчет собственной концентрации электронов и дырок

Е Е+dЕ

Зона проводимости

Е

0

Е

- m

Е

-m¢
Е

Валентная зона.
Рис.1.Положение уровня Ферми в невырожденном полупроводнике.
На рис. 1 показана зонная структура невырожденного полупроводника. За нулевой уровень отсчета энергии принимают обычно дно зоны проводимости Е

. Так как для невырожденного газа уровень Ферми m должен располагаться ниже этого уровня, т.е. в запрещенной зоне, то m является величиной отрицательной (-m >>kT). При температуре Т, отличной от абсолютного нуля, в зоне проводимости находятся электроны, в валентной зоне – дырки. Обозначим их концентрацию соответственно через n и p. Выделим около дна зоны проводимости узкий интервал энергий dЕ, заключенный между Е и Е+dЕ. Так как электронный газ в полупроводнике является невырожденным, то число электронов dn, заполняющих интервал энергии dЕ (в расчете на единицу объема полупроводника), можно определить, воспользовавшись формулой :
N(E)dE=

(2m)

e

E

dE
dn=

(2m

)

e

e

E

dE
где m – эффективная масса электронов, располагающихся у дна зоны проводимости.
Обозначим расстояние от дна зоны проводимости до уровня Ферми через -m, а от уровня Ферми до потолка валентной зоны через -m¢. Из рис. 1 видно, что
m+m¢=-E

,
m¢=-(Е

+m)
где Е

(

Е) - ширина запрещенной зоны.
E

=Е +bТ
Полное число электронов n, находящихся при температуре Т в зоне проводимости, получим, интегрируя (1.2) по всем энергиям зоны проводимости, т.е. в пределах от 0 до Е

:
n=4

Так как с ростом Е функция exp(-E/kT) спадает очень быстро, то верхний предел можно заменить на бесконечность:
n=4

Вычисление этого интеграла приводит к следующему результату:
n=2

exp

(1.5)
Введем обозначение
N

=2(2

m

kT/h

)

(1.6)
Тогда (1.5) примет следующий вид:
n=N

exp(

/kT) (1.7)
Множитель N

в (1.7) называют эффективным числом состояний в зоне проводимости, приведенным ко дну зоны. Смысл этого числа состоит в следующем. Если с дном зоны проводимости, для которой Е=0, совместить N

состояний, то, умножив это число на вероятность заполнения дна зоны, равную f

(0)=exp(

/kT), получим концентрацию электронов в этой зоне.
Подобный расчет, проведенный для дырок, возникающих в валентной зоне, приводит к выражению:
p=2

exp

=N

exp

= N

exp

(1.8)