Ôîòîëèòîãðàôèåé ïî ìåòàëëè÷åñêîé ïëåíêå ôîðìèðóþò òðåáóåìóþ êîíôèãóðàöèþ ïðîâîäíèêîâ ìåæñîåäèíåíèé è êîíòàêòíûå ïëîùàäêè äëÿ ïðèñîåäèíåíèÿ ñõåìû ê âíåøíèì âûâîäàì êîðïóñà .
Ïîñëå îêîí÷àíèÿ ãðóïïîâîé îáðàáîòêè ïëàñòèíû ñî ñôîðìèðîâàííûìè ñòðóêòóðàìè ïîñòóïàþò íà ñáîðêó ïðèáîðîâ (èíäèâèäóàëüíàÿ îáðàáîòêà).
Ñáîðêà.
 ïðîöåññå ñáîðêè ðàçäåëÿþò ïëàñòèíû íà îòäåëüíûå êðèñòàëëû, ìîíòèðóþò êðèñòàëë â êîðïóñ, ïðèñîåäèíÿþò ýëåêòðè÷åñêèå âûâîäû ê êîíòàêòíûì ïëîùàäêàì êðèñòàëëà è âûâîäàì êîðïóñà è ãåðìåòèçèðóþò êîðïóñ.
×òîáû ãàðàíòèðîâàòü íàäåæíóþ ðàáîòó èçãîòîâëåííûõ ïðèáîðîâ, èõ ïîäâåðãàþò èñïûòàíèÿì, êîòîðûå ïðîâîäÿò ñîãëàñíî òåõíè ÷åñêèì óñëîâèÿì íà êàæäûé òèï ïðèáîðà. Èñïûòàíèÿ âêëþ÷àþò êîìïëåêñ îïåðàöèé: èçìåðåíèå ýëåêòðè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâ è êëàññèôèêàöèþ ïðèáîðîâ, îïðåäåëåíèå ìåõàíè÷åñêîé è êëèìàòè÷åñêîé ñòîéêîñòè ïðèáîðîâ, ïðîâåðêó èõ ãåðìåòè÷íîñòè è îïðåäåëåíèå ãàðàíòèéíîãî ñðîêà ñëóæáû.
Êðîìå òîãî, â ïðîöåññå èçãîòîâëåíèÿ ïðèáîðîâ ïîñòîÿííî ïðîâîäèòñÿ ìåæîïåðàöèîííûé êîíòðîëü, ïîçâîëÿþùèé ñëåäèòü çà ñòà áèëüíîñòüþ òåõíîëîãè÷åñêîãî ïðîöåññà. Ïðè íåîáõîäèìîñòè êîððåê òèðóþò ðåæèìû îáðàáîòêè (òåìïåðàòóðó, êîíöåíòðàöèþ, âðåìÿ). Ïî äàííûì ìåæîïåðàöèîííîãî êîíòðîëÿ ïàðòèÿ ïëàñòèí ìîæåò îêàçàòüñÿ çàáðàêîâàííîé è ñíÿòîé ñ äàëüíåéøåé îáðàáîòêè.
Äàæå ïðè íîðìàëüíîì ïðîòåêàíèè ïðîöåññà ÷àñòü êðèñòàëëîâ ãðóïïîâîé ïëàñòèíû îêàçûâàåòñÿ äåôåêòíîé (èç-çà ïðîêîëîâ â çà ùèòíûõ ìàñêàõ, ëîêàëüíûõ çàãðÿçíåíèÿõ è ïð.). Ýòè êðèñòàëëû îáíàðóæèâàþòñÿ ëèøü íà çàâåðøàþùåì ýòàïå ãðóïïîâîé îáðàáîòêè - ïîñëå ïîëó÷åíèÿ ìåæñîåäèíåíèé è ïåðèôåðèéíûõ êîíòàêòîâ, êîãäà îñóùåñòâëÿåòñÿ êîíòðîëü ïðèáîðà íà ïðàâèëüíîñòü ôóíêöèîíèðîâàíèÿ.  äàëüíåéøåì ýòè êðèñòàëëû îòáðàêîâûâàþòñÿ è íå ïîñòóïàþò íà ñáîðî÷íûå ëèíèè.
§ 3. Îáùèå ñâåäåíèÿ îá èçãîòîâëåíèè ïîäëîæåê
Äëÿ ïîëó÷åíèÿ êà÷åñòâåííûõ ïðèáîðîâ è èàòåãðàëüíõ ñõåì íåîáõîäèìû îäíîðîäíûå ïëàñòèíû ñ ïîâåðõíîñòüþ, ñâîáîäíîé îò äåôåêòîâ è çàãðÿçíåíèé. Ïðèïîâåðõíîñòíûå ñëîè ïëàñòèí íå äîëæíû èìåòü íàðóøåíèé êðèñòàëëè÷åñêîé ñòðóêòóðû. Î÷åíüà æåñòêèå òðåáîâàíèÿ ïðåäúÿâëÿþò ê ãåîìåòðè÷åñêèì õàðàêòåðèñòèêàì ïëàñòèí, îñîáåííî ê èõ ïëîñêîñòíîñòè. Ïëîñêîñòêîñòü ïîâåðõíîñòè èìååò îïðåäåëÿþùåå çíà÷åíèå ïðè ôîðìèðîâàíèè ñòðóêòóð ïðèáîðîâ ìåòîäàìè îïòè÷åñêîé ëèòîãðàôèè. Âàæíû è òàêèå ãåîìåòðè÷åñêèå ïàðàìåòðû ïëàñòèíà êàê ïðîãèá, íåïàðàëëåëüíîñòü ñòîðîí è äîïóñê ïî òîëùèíå.
Äëÿ îáåñïå÷èÿ òðåáóåìûõ ïàðàìåòðîâ ðàçðàáîòàíû ðàçëè÷íûå òåõíîëîãè÷åñêèå âàðèàíòû èçãîòîâëåíèÿ ïëàñòèí.  çàâèñèìîñòè îò õàðàêòåðèñòèê îáðàáàòûâàåìîãî ìàòåðèàëà âàðèàíòû èçãîòîâëåíèÿí èìåþò ñâîè îñîáåííîñòè, íî, êàê ïðàâèëî, ñîñòîÿò ÿò èç îäíèõ è òåõ æå áàçîâûõ îïåðàöèé, ïðèìåíÿåìûõ â ðàçëè÷íûõ ñî÷åòàíàíèÿõ. Ê áàçîâûì îïåðàöèÿì îòíîñÿò ïðåäâàðèòåëüíóþ ïîäãîòîâêó ðàçäåëåíèå åãî íà ïëàñòèíû, øëèôîâàíèå ïëàñòèíû, ñâîáîäíûì èëè ñâÿçàííûì àáðàçèâîì, ôîðìèðîâàíèå ôàñîê, õèì÷åñêîå òðàâëåíèå ïëàñòèí, èõ ïîëèðîâàíèå è î÷èñòêó.