Полупроводниковые пластины. Методы их получения (стр. 18 из 21)
Ðàáî÷åå äàâëåíèå íà ïëàñòèíû ñîçäàåòñÿ ãèäðàâëè÷åñêèìè óñòðîéñòâàìè è ïåðåäàåòñÿ âåðõíèì øëèôîâàëüíèêîì. Ðàáî÷åå äàâëåíèå ïëàâíî ðåãóëèðóåòñÿ, ÷òî ïîçâîëÿåò îñóùåñòâëÿòü
Ðèñ. 14. Ôîðìà èçíîñà øëèôîâàëüíèêà â âèäå âîãíóòîñòè (à) èëè âûïóêëñ- ñòè (á) è åå âëèÿíèå íà ôîðìîîáðàçîâàíèå ïëàñòèí
íåïðåðûâíûé ïåðåõîä îò ÷åðíîâîãî øëèôîâàíèÿ ê ÷èñòîâîìó. ×àñòîòà âðàùåíèÿ øåñòåðåí òàêæå ïëàâíî ðåãóëèðóåòñÿ, èñêëþ÷àÿ òîë÷êè è óäàðû â ìîìåíòû çàïóñêà è îñòàíîâêè ñòàíêà, ÷òî âàæíî ïðè îáðàáîòêå ïîëóïðîâîäíèêîâ. Øëèôîâàëüíèêè ñíàáæåíû ñèñòåìàìè îõëàæäåíèÿ è êîíòðîëÿ òåìïåðàòóðû, ïîääåðæèâàþùèìè ñòàáèëüíûå óñëîâèÿ îáðàáîòêè. Ïîñòîÿíñòâî òåìïåðàòóðû â çîíå øëèôîâàíèÿ èñêëþ÷àåò íåæåëàòåëüíûå òåðìè÷åñêèå äåôîðìàöèè øëèôîâàëüíèêîâ, êîòîðûå ìîãóò ñíèçèòü òî÷íîñòü îáðàáîòêè, è ïîääåðæèâàåò îäèíàêîâóþ âÿçêîñòü àáðàçèâíîé ñóñïåíçèè âî âðåìåíè, ÷òî âàæíî äëÿ ïîääåðæàíèÿ ïîñòîÿííîé ñêîðîñòè îáðàáîòêè.
§ 8. Ñïîñîáû äîâîäêè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí ïîëèðîâàíèåì
Ïîëèðîâàíèå ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí ïðîèçâîäÿò äëÿ óäàëåíèÿ ïðèïîâåðõíîñòíûõ ñòðóêòóðíî-äåôåêòíûõ ñëîåâ, îáðàçîâàâøèõñÿ ïðè ðåçêå è øëèôîâàíèè. Åñëè ïîëèðîâàíèå îâîäà? à ïîñëå õèìè÷åñêîãî òðàâëåíèÿ, òî îíî èñïðàâëÿåò äåôåêòû ãåîìåòðè÷åñêîé ôîðìû ïëàñòèí, âîçíèêàþùèå èç-çà íåðàâíîìåðíîñòè òðàâëåíèÿ. Ïî õàðàêòåðó ñúåìà ìàòåðèàëà ðàçëè÷àþò ìåõàíè÷åñêîå, õèìè÷åñêîå è õèìèêî-ìåõàíè÷åñêîå ïîëèðîâàíèå. ;
Ìåõàíè÷åñêîå ïîëèðîâàíèå îñóùåñòâëÿþò ñðåçàíèåì ìèêðîñêîïè÷åñêèõ ÷àñòèö â ðåçóëüòàòå âîçäåéñòâèÿ àáðàçèâíûõ, çåðåí íà îáðàáàòûâàåìóþ ïîâåðõíîñòü.  êà÷åñòâå àáðàçèâà èñïîëüçóþò ïîðîøêè ñèíòåòè÷åñêèõ è ïðèðîäíûõ àëìàçîâ, îêñèäîâ õðîìà, öåðèÿ è äð.
Õ è ì è ÷ å ñ ê î å ï î ë è ð î â à í è å îñóùåñòâëÿþò ïîãðóæåíèåì ïëàñòèí â ïîëèðóþùèé òðàâèòåëü. Äëÿ îáåñïå÷åíèÿ áîëüøåé ðàâíîìåðíîñòè ñúåìà ìàòåðèàëà ñî âñåé ïîâåðõíîñòè ïëàñòèí êàññåòû ñ ïëàñòèíàìè ïðèâîäÿòñÿ âî âðàùåíèå, â ðåçóëüòàòå ÷åãî ê íèì ïîñòîÿííî ïîäâîäèòñÿ ñâåæèé òðàâèòåëü (ðèñ. 15). Òðàâèòåëè, èñïîëüçóåìûå äëÿ ïîëèðîâàíèÿ ïëàñòèí, ìíîãîîáðàçíû ïî ñîñòàâó. Êðåìíèåâûå ïëàñòèíû òðàâÿò ïðåèìóùåñòâåííî â ñìåñÿõ àçîòíîé, ïëàâèêîâîé è óêñóñíîé êèñëîò, ïðèìåíÿÿ ðàçëè÷íûå ïðîïîðöèè êîìïîíåíòîâ.  ýòè ñìåñè ìîãóò äîáàâëÿòüñÿ âåùåñòâà, ñòàáèëèçèðóþùèå ñêîðîñòü òðàâëåíèÿ èëè æå êàòàëèçèðóþùèå åãî ðåàêöèè. Ñîåäèíåíèÿ À3Â5 òðàâÿò ÷àùå âñåãî â âîäíûõ ðàñòâîðàõ ïåðåêèñè âîäîðîäà è îäíîé èç êèñëîò, íàïðèìåð ñåðíîé, ïëàâèêîâîé, áðîìèñòîâîäîðîäíîé è äð. Êðîìå òîãî, õèìè÷åñêîå ïîëèðîâàíèå ìîæíî îñóùåñòâëÿòü â ãàçîâîé ñðåäå.
Рис. 15 Химическое полирование пластин:
1- держатель, 2 - кассета, 3 - полупроводниковые
ïëàñòèíû , 4 -ванна с травителем
õ è ì è ê î - ì å õ à í è ÷ å ñ ê î å ï î ë è ð î â à í è å îñóùåñòâëÿþò â ðåçóëüòàòå ñîâìåñòíîãî âîçäåéñòâèÿ õèìè÷åñêèõ è ìåõàíè÷êñêèõ ôàêòîðîâ.
Íàèáîëüøåå ðàñïðîñòðàíåíèå èç ðàçíîîáðàçíûõ ìåòîäîâ ìåõàíè÷åñêîãî ïîëèðîâàíèÿ ïîëó÷èëî ïîëèðîâàíèå àëìàçíèìè ïîðîøêàìè, êîòîðîå ïðîèçâîäÿò ñóñïåíçèÿìè èëè ïàñòàìè.  ìàçåîáðàçíîé îñíîâå ïàñòû ðàâíîìåðíî ðàñïðåäåëåí àëìàçíûé ïîðîøîê.  íåêîòîðûõ ñëó÷àÿõ â ïàñòó äîáàâëÿþò íàïîëíèòåëü.  çàâèñèìîñòè îò çåðíèñòîñòè àëìàçíîãî ïîðîøêà ïàñòó îêðàøèâàþò â ðàçëè÷íûå öâåòà.