Конструирование микросхемы, разработка топологии (стр. 2 из 2)

Контактные площадки

и проводники - медь

a = 1×10^-4

P₀ = 2 Вт/см²

II слой: резистивная плёнка – кермет К-50С (ЕТО.021.013 ТУ)

Контактные площадки

и проводники - золото с подслоем хрома (нихрома)

a = -4×10^-4

P₀ = 2 Вт/см²

Зная величину каждого резистора и R_о слоя, в котором он находятся, можно найти коэффициент формы для каждого резистора данного слоя:

где К_ф – коэффициент формы плёночного элемента (значения К_ф см. в таблице 1).

Теперь рассчитаем погрешность коэффициента формы:

Таблица 1.

Номер R	I	Pi	Резистор	Ri	1/Ri	Rопт	Kф
1	0,0034543	0,008113888	R1	680	0,0014706	245,636	2,76832341
2	0,002651	0,007027801	R2	1000	0,001	4918,03	0,20333344
3	0,0008033	0,00212946	R3	3300	0,000303	4918,03	0,67100036
4	0,00147573	0,00718669	R4	3300	0,000303	4918,03	0,67100036
5	0,00130092	0,000169239	R5	100	0,01	245,636	0,40710638
6	0,00047755	0,002280587	R6	10000	0,0001	4918,03	2,03333441
7	0,00047755	0,000107188	R7	470	0,0021277	245,636	1,9134
8	0,00032997	0,001633183	R8	15000	6,667E-05	4918,03	0,20333344
9	0,00050478	2,54803E-05	R9	100	0,01	245,636	1,9134
10	0,0001694	1,34867E-05	R10	470	0,0021277	245,636	1,9134
11	3,4178E-06	1,16814E-08	R11	1000	0,001	4918,03	0,20333344
12	5,416E-06	1,37865E-07	R12	4700	0,0002128	4918,03	0,95566717
13	0,00032308	0,00156571	R13	15000	6,667E-05	4918,03	3,05000161
14	0,00032723	5,03286E-05	R14	470	0,0021277	245,636	1,9134
15	0,00100583	5,15964E-05	R15	51	0,0196078	245,636	0,20762426
16	0,00100583	0,004754962	R16	4700	0,0002128	4918,03	0,95566717
17	1,4167E-05	3,01056E-06	R17	15000	6,667E-05	4918,03	3,05000161
18	1,4167E-05	1,24436E-07	R18	620	0,0016129	245,636	2,52405958
19	5,416E-06	2,93331E-07	R19	10000	0,0001	4918,03	2,03333441

1).Для резисторов с 1 £K _Ф £ 10

Рассчитываем ширину резистора:

Рассчитываем длину резисторов:

где h – длина перекрытия для плёночных элементов, расположенных в разных слоях (h ³ 0,2 мм).

2).Для резисторов с 0,1 £K_Ф£ 1

Рассчитываем длину резисторов:

Рассчитываем ширину резисторов:

Площадь резисторов равна:

Значения ширины, длины и площади каждого резистора см. таблицу 2.

Проверка:

1).

Таблица 2.

Номер R	Bточн/Lточн	Bp	Bрасч	Lp	Lрасчётн	Lполн	Sсм	Проверка P0'	Проверка	Проверка
1	0,37293958	0,038	0,37294	1,43242	0,005	1,518871	0,033795	11,070295
2	1,09593152	5,38982	0,02673	1,09593	1,49593	0,081	0,087163	0,00854	11,06254
3	0,46116892	0,68729	0,02673	0,46117	0,86117	0,006	0,359786	0,026162	11,080162
4	0,46116892	0,68729	0,0491	0,46117	0,86117	0,006	1,214237	0,026162	11,080162
5	0,94694806	2,32605	0,00587	0,94695	1,34695	0,031	0,005402	0,011723	11,048223
6	0,27625982	0,024	0,27626	0,96173	0,003	0,858374	0,046596	11,100596
7	0,41715887	0,005	0,41716	1,19819	0,005	0,021445	0,032318	11,068818
8	1,09593152	5,38982	0,01289	1,09593	1,49593	0,081	0,020256	0,00854	11,06254
9	0,41715887	0,003	0,41716	1,19819	0,005	0,005098	0,032318	11,068818
10	0,41715887	0,002	0,41716	1,19819	0,005	0,002698	0,032318	11,068818
11	1,09593152	5,38982	3,4E-05	1,09593	1,49593	0,081	1,45E-07	0,00854	11,06254
12	0,378961	0,39654	0,00026	0,37896	0,77896	0,003	4,46E-05	0,038056	11,092056
13	0,24590161	0,016	0,2459	1,15	0,003	0,553671	0,049362	11,103362
14	0,41715887	0,004	0,41716	1,19819	0,005	0,010069	0,032318	11,068818
15	1,59353231	7,67508	0,00231	1,59353	1,99353	0,153	0,000337	0,006319	11,042819
16	0,378961	0,39654	0,04767	0,37896	0,77896	0,003	1,539372	0,038056	11,092056
17	0,24590161	7E-04	0,2459	1,15	0,003	0,001065	0,049362	11,103362
18	0,38251703	2E-04	0,38252	1,3655	0,005	2,38E-05	0,033466	11,069966
19	0,27625982	3E-04	0,27626	0,96173	0,003	0,00011	0,046596	11,100596

2).

3).

Результаты проверки см. в таблице 2.