Проектирование высоковакуумной магистрали (стр. 3 из 3)

.

Выражение

– режим промежуточный.

Расчет проводимости трубопровода (л, к)

.

Задаем диаметр трубопровода

.

Проводимость участка

.

Найдём отношение

([2], стр. 41, табл. 3.3),

.

Проверим режим течения в трубопроводе (л, к):

давление в трубопроводе:

.

Выражение

– режим промежуточный.

Проводимость затвора

Выбираем затвор ЗППл-63 с проходным диаметром

и проводимостью

.

Давление на выходе затвора:

.

Расчет проводимости трубопровода (и)

.

Задаем диаметр трубопровода

.

Проводимость участка

.

Найдём отношение

([2], стр. 41, табл. 3.3),

.

Проверим режим течения в трубопроводе (и):

давление в трубопроводе:

.

Выражение

– режим вязкостный.

Время откачки камеры форвакуумным насосом

.

.

Расчет общей проводимости форвакуумной магистрали

Диаграмма распределения давления

8 – ВВН; 7 – шевронно-коническая ловушка; 6 – трубопровод (е); 5 – затвор

;

4 – заливная ловушка; 3-трубопровод (г); 2-затвор

; 1 – фланец (о); 0 – рабочая камера;

Элементы системы

Временная циклограмма

Вакуумная камера

Список используемой литературы

1. Курс лекций по вакуумной технике

2. Фролов Е.С. Справочник «Вакуумная техника. Справочник». 1985 г.

3. А.И. Пипко «Конструирувание и расчёт вакуумных систем». 1979 г.

4. Гетлинг Б.В. «Справочник электротехника». 1961 г.