Проектирование высоковакуумной магистрали (стр. 2 из 3)

.

Проверим режим течения в заливной ловушке

давление в заливной ловушке:

.

Выражение

– режим молекулярный.

Расчет проводимости трубопровода (г)

Задаем диаметр трубопровода

.

Проводимость участка

.

Найдём отношение

(литер. 2, стр. 41, табл. 3.3),

.

Проверим режим течения в трубопроводе (г)

давление в трубопроводе:

.

Выражение

– режим молекулярный.

Проводимость затвора

Выберем затвор

[литер. 2, стр. 109, табл. 7.1] такой же как и

с проходным диаметром

и проводимостью

.

Проверим режим течения в затворе

давление в затворе:

.

Выражение

– режим молекулярный.

Расчёт проводимости присоединительного фланца (о)

Проводимость фланца

Проверим режим течения во фланце

давление во фланце:

.

Выражение

– режим молекулярный.

Проводимость:

.

Сечение рабочей камеры

Сечение фланца

.

Давление в рабочей камере:

- режим молекулярный

Расчет общей проводимости высоковакуумной магистрали

Время откачки камеры высоковакуумным насосом до предельного давления в камере

где

– объем рабочей камеры.

Действительные параметры откачки высоковакуумным насосом

– эффективная быстрота откачки,

– фактическое предельное давление в камере.

Оценка пригодности высоковакуумного насоса

Проводимость затвора

Выберем затвор ЗППл-63 ([2], стр. 109, табл. 7.1) с проходным диаметром

и проводимостью

.

Давление на выходе затвора:

.

Расчет давления в трубопроводе (в) до диафрагмы

Задаем диаметр трубопровода

.

Проводимость участка

.

Найдём отношение

:

([2], стр. 41, табл. 3.3),

.

Проверим режим течения в трубопроводе (в)

давление в трубопроводе:

.

Выражение

– режим молекулярный

Проводимость диафрагмы

.

.

2. Расчет форвакуумной магистрали

2.1 Предварительный выбор механического насоса

Минимальная быстрота действия механического (форвакуумного) насоса.

.

Выбираем механический насос НВЗ-20 [лит-ра 2, стр. 199, табл. 9.9] с параметрами:

Быстрота действия

.

Предельное остаточное давление:

парциальное без газобаласта

,

полное без газобаласта

,

полное с газобаластом

.

Объем масла, заливаемого в насос

.

Расход воды в рубашке охлаждения – охлаждение воздушное

Частота вращения

.

Мощность электродвигателя 2,2кВт.

Число ступеней 1.

Габаритные размеры

.

Масса

.

Расчет проводимости трубопровода (н) до затвора

.

Задаем диаметр трубопровода

.

Проводимость участка

.

Найдём отношение

([2] стр. 41, табл. 3.3),

.

Проверим режим течения в трубопроводе (н):

давление в трубопроводе:

.

Выражение

– режим промежуточный.

Проводимость затвора

Выбираем затвор ЗППл-63 с проходным диаметром

и проводимостью

.

Давление на выходе затвора:

.

Расчет проводимости трубопровода (н) после затвора

.

Задаем диаметр трубопровода

.

Проводимость участка

.

Найдём отношение

([2], стр. 41, табл. 3.3),

.

Проверим режим течения в трубопроводе (н):

давление в трубопроводе: