Изготовление кристаллов (стр. 2 из 4)
кислота серная 17.10201.00024
вода деионизованная марка А ТВО 029 001 МК-02
спирт этиловый ректификованный технический марка “Экстра” ГОСТ 18300-87
перчатки резиновые А7-10 ГОСТ 3-88
салфетка из мадаполама ТВО 054 115 МК-01
салфетка из батиста ТВО 054 108 МК-02
Настоящая карта устанавливает порядок проведения процесса удаления пленок фоторезиста с кремниевых пластин, не имеющих металлических покрытий, в серной кислоте, а затем в смеси серной кислоты и перекиси водорода (смеси Каро).
Требования безопасности.
1.1 При проведении данного процесса возможны следующие виды опасности:
1) химические ожоги;
2) отравления;
3) электроопасность;
4) термоопасность;
5) порезы.
1.2 Источниками химических ожогов являются серная кислота, перекись водорода и их смеси, а также их пары при попадании на кожу и в организм человека.
1.3 Источником электроопасности является установка химической обработки с незащищенной электропроводкой и заземлением.
1.4 Источником термоопасности является нагретая смесь серной кислоты и перекиси водорода и подогретая деионизованная вода.
1.5 Источником порезов может быть применяемая стеклянная оснастка со сколами и трещинами.
1.6 Во избежание химических ожогов и отравлений выполнять требования изложенные в ТВО 045 039 ТИ.
1.6.1 Работу со смесью перекиси водорода и серной кислоты на установке проводить только при закрытых шторках, в резиновых перчатках одноразового использования, в нарукавниках и фартуке.
1.6.2 На рабочем месте не должно быть предметов не относящихся денной операции, наличие органических веществ и других реактивов, не предусмотренных картой, так как перекись водорода является сильным окислителем.
1.7 Во избежание термоопасности не касаться руками горячих частей оборудования и горячих растворов.
1.8 Во избежание порезов необходимо быть внимательным и осторожным при использовании оснастки из стекла.
В случае боя стеклянной оснастки собрать крупные осколки сухой салфеткой, а мелкие влажной и выбросить в урну.
1.9 При возникновении аварийной ситуации немедленно отключить технологический блок тумблером, расположенным на нижней панели управления, поставив его в положение ОТКЛ, затем вызвать наладчика, сообщить мастеру.
Подготовка рабочего места и организация трудового процесса.
2.1 Убедитесь по записи в журнале, что производственная гигиена рабочего места и участка соответствует 17.25101.00002.
2.2 Убедиться по журналу готовности оборудования, что установка химической обработки пластин и установка контроля проверены и подготовлены к работе наладчиком.
Без подписи наладчика к работе не приступать, сообщить мастеру.
2.3 Надеть перед началом работы вне рабочей зоны полиэтиленовые нарукавники и резиновые перчатки.
Промыть руки в перчатках деионизованной водой и осушить салфеткой.
2.4 Проводить ежедневно в начале смены протирку влажной салфеткой из мадаполама внешних поверхностей установки и решетки вытяжки слива.
На лицевой панели установки должна быть надпись, указывающая назначение операции и наименование используемого раствора.
2.5 Промыть рабочие ванны и находящиеся в них нагреватели, решетки и крышки деионизированной водой из шланга.
2.6 Слить воду из рабочих ванн, открыв вентили слива. Убедиться в том, что вода полностью удалена из ванн.
2.7 Контролировать расход вод деионизированной по ротаметру, он должен составлять (4±1) л/мин на одну установку.
2.8 Приготовить смесь серной кислоты перекиси водорода в двух рабочих ваннах установки.
2.8.1 Налить на дно первой ванны 25-50 мл перекиси водорода, открыв кран на передней панели установки с надписью перекись водорода на 1-2 с. Закрыть кран.
2.8.2 Налить в первую ванну 6 л серной кислоты, открыв кран на передней панели установки с надписью серная кислота, до верхней отметки на стенки ванны. Закрыть кран.
2.8.3 Налить во вторую ванну 1.8 л перекиси водорода, открыв кран на передней панели установки с надписью перекись водорода, до нижней отметки на стенке ванны. Закрыть кран.
2.8.4 Налить во вторую ванну 4.2 л серной кислоты, открыв кран на передней панели установки с надписью серная кислота, до верхней отметки на стенки ванны. Закрыть кран.
2.8.5 Перемешать приготовленную смесь Каро с помощью стеклянной палочки. Закрыть ванны крышками.
2.8.6 Выставить на реле времени время обработки в первой рабочей ванне (с серной кислотой) 5 минут, во второй рабочей ванне (со смесью Каро) 3 минуты.
2.9 Заполнить промежуточную ванну деионизованной водой, открыв кран.
2.10 Проверить термометром температуру горячей деионизованной воды в промежуточной ванне. Она должна быть (65±5)0С.
Если горячая вода в ванне не соответствует указанной температуре, работу остановить, сообщить неполадку.
2.11 Получить в кассете пластины, предназначенные для данной операции. Убедиться по сопроводительному листу, что полученные пластины предназначены для данной операции и что проведены предыдущие операции.
2.12 При измерении объемов жидких материалов допустимое отклонение обеспечивается имеющимися средствами измерения.
Технологический процесс.
3.1 Включить нагреватель ванн соответствующими тумблерами автомата НАГРЕВАТЕЛЬ, поставив тумблеры в верхнее положение, при этом должны загореться сигнальные лампочки.
3.2 Нагреть серную кислоту (в первой ванне) и смесь Каро (во второй ванне) до температуры (150±10)0С.
При достижении технологической температуры загорается сигнальная лампочка регулятора температуры.
3.3 Открыть крышки ванн.
3.4 Убедиться с помощью термометра, что температура нагретой серной кислоты и смеси Каро соответствуют заданной.
В случае несоответствия температур по регулятору и термометру на величину, превышающую 100С, вызвать наладчика для устранения несоответствия.
Разрешается начинать обработку пластин при температуре 1200С.
3.5 Опустить кассету с пластинами с помощью ручки в ванну с нагретой серной кислотой.
Погружение кассет с пластинами проводить медленно. При возникновении бурной реакции при растворении фоторезиста поднять кассету. Следить за тем, чтобы пластины в процессе погружения остались в пазах кассеты.
3.6 Включить реле времени первой рабочей ванны.
3.7 Извлечь кассету с пластинами с помощью ручки из первой ванны при загорании красной сигнальной лампочки.
В одной порции серной кислоты обрабатывать не более 1500 пластин.
При обработке пластин в первой рабочей ванне в серной кислоте после обработки каждых 250 пластин доливать серную кислоту 150-200 мл до уровня верхней отметки на стенке ванны.
3.8 Переставить кассету с пластинами во вторую рабочую ванну со смесью Каро.
3.9 Включить реле времени второй рабочей ванны.
3.10 Извлечь кассету с пластинами с помощью ручки из второй ванны при загорании красной сигнальной лампочки.
В одной порции смеси Каро обрабатывать не более 300 пластин.
После обработки 100 пластин осторожно доливать в ванну со смесью Каро (200±50) мл перекиси водорода. Следующую доливку делать после обработки каждых 50 пластин.
3.11 Выдержать пластины в кассете в рабочем объеме в течении 1-2 минут.
3.12 Поместить кассету с пластинами в ванну с горячей деионизованной водой.
3.13 Промыть пластины в ванне с горячей деионизованной водой в течении 1-2 минут.
3.14 Перенести кассету с пластинами из промежуточной ванны в ванну каскадной промывки.
3.15 Проводить отмывку пластин в деионизованной воде в первой и во второй ваннах каскада в течении 2-3 минут в каждой ванне. В третьей ванне каскада выдержать до снижения сопротивления сливной воды 3 Мом·см по прибору контроля сопротивления деионизованной воды.
3.16 Перенести кассету с пластинами на сушку пластин по ТВО 734 618 ТАК КАК по окончании отмывки пластин.
3.17 Передать обработанные пластины в кассете на следующую операцию, заполнив сопроводительный лист.
3.18 Отключить по окончании работы нагреватели ванн, поставив тумблер блока управления НАГРЕВАТЕЛЬ в нижнее положение.
3.19 Слить серную кислоту и смесь Каро из рабочих ванн, открыв кран слива и предварительно охладив их до (80-50) 0С.
Перед сливом серной кислоты добавить в ванну 200 мл перекиси водорода.
3.20 Промыть рабочие ванны, находящиеся в них решетки и нагреватели, деионизованной водой из шланга.
3.21 Закрыть вентили слива и закрыть рабочие ванны крышками.
3.22 Протереть стол установки, крышки ванн салфеткой из мадаполама.
3.23 Отключить технологический блок. Проводить отмывку оснастки и ванн установки не реже одного раза в неделю. Разрешается одновременно обрабатывать по две кассеты с пластинами.
КОНТРОЛЬ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ КРИСТАЛЛА
Оборудование
система измерительная Н2001 (“Интеграл”);
зонд измерительный ОМ6010;
Алгоритм программы разбраковки
Рис.3.
СБОРОЧНОЕ ПРОИЗВОДСТВО
ВВОДНАЯ ЧАСТЬ
Микросхема К425НК1
Микросхема интегральная К425НК1 предназначена для работы в блоке управления экономайзера автомобиля, изготавливаемого для народного хозяйства.
Рис. 4. Схема расположения выводов
Нумерация выводов показана условно.
Ключ “=>” показывает направление отсчета выводов.
масса не более 3г.
Табл. 5 . Назначение выводов.
| Номер вывода | Назначение вывода |
| 1 | Вывод резистора R9 |
| 2 | Точка соединения резисторов R4 и R5 |
| 3 | Точка соединения резисторов R5 и R6 |
| 4 | Точка соединения резисторов R6 и R7 |
| 5 | Точка соединения резисторов R1 и R2 |
| 6 | Точка соединения резисторов R4 и R9 |
| 7 | Точка соединения резисторов R2 и R3 |
| 8 | Вывод резистора R3 |
| 9 | Вывод резистора R8 |
Табл. 6. Основные электрические параметры (при температуре 25±100С).