Минимально допустимая ширина резистора, обеспечивающая заданную мощность рассеяния
Таким образом, расчётная ширина резистора равна
Определение длины резистора по известной ширине:
Полная длина резистора:
Ширина контактной площадки:
Тогда площадь тонкопленочного резистора равна:
Проверка результатов:
Определение фактического значения удельной мощности, рассеиваемой резистором.
Определение фактической относительной погрешности коэффициента формы.
Определение фактической относительной погрешности резистора.
Каждое из условий выполняется.
2) Расчёт резистора R4 с коэффициентом формы К1=0,5:
Положим, что необходимое перекрытие резистивного и проводящего слоёв, а также припуск на совмещение слоёв МСБ соответственно равны значениям:
Находим расчетную длину резистора l = max{lminТ, lminП, lminР}.
Минимальная технологически реализуемая длина
Минимальная длина резистора, обеспечивающая допустимую относительную погрешность коэффициента формы
Минимально допустимая длина резистора, обеспечивающая заданную мощность рассеяния
Таким образом, расчётная длина резистора равна
Определение ширины резистора по известной длине:
Полная длина резистора:
Ширина контактной площадки:
Тогда площадь тонкопленочного резистора равна:
Проверка результатов:
Определение фактического значения удельной мощности, рассеиваемой резистором.
Определение фактической относительной погрешности коэффициента формы.
Определение фактической относительной погрешности резистора.
Каждое из условий выполняется.
Результаты расчётов резисторов оформим в виде таблицы (табл. 2)
Табл. 2
Позиционное обозначение | Номинал , допуск , мощность | Материал | rкв, Ом/кв | k | gRt , % | gR t, % | b , мм | l , мм | | n |
R1 | 33 кОм+10% -2.737 мВт | Сплав РС-3710 | 2000 | 16,5 | 0.004 | 2.0 | 0.68 | 5.0 | 0.9 | __ |
R3 | 5.6 кОм+10% -0.484 мВт | Сплав РС-3710 | 2000 | 2.8 | 0.004 | 2.0 | 0.76 | 1.4 | 0.9 | _ |
R4 | 1 кОм+10% -196мВт | Сплав РС-3710 | 2000 | 0.5 | 0.004 | 2.0 | 4.82 | 2.61 | 0.9 | _ |
R5 | 1 кОм+10% -196мВт | Сплав РС-3710 | 2000 | 0.5 | 0.004 | 2.0 | 4.82 | 2.61 | 0.9 | _ |
R6 | 33 кОм+10% - 2.737 мВт | Сплав РС-3710 | 2000 | 16.5 | 0.004 | 2.0 | 0.68 | 5.0 | 0.9 | _ |
R8 | 5.6 кОм+10% -0.484 мВт | Сплав РС-3710 | 2000 | 2.8 | 0.004 | 2.0 | 0.76 | 1.4 | 0.9 | _ |
5.2. Расчёт тонкоплёночных конденсаторов.
Методика расчёта:
Расчет тонкопленочного конденсатора производится в следующем порядке. По значению C0 и Uр из табличных данных выбирают материал диэлектрика.
Находят толщину диэлектрического слоя, обеспечивающую электрическую прочность конденсатора d = (2...4)Uр/E, где E - диэлектрическая прочность диэлектрика (табл. 2.3 «Методические указания к выполнению курсовой работы»). Обычно d = 0,3...0,5 мкм.
Определяют удельную емкость диэлектрика, при которой выполняется требование к электрической прочности конденсатора C0E = 0,0885e/d, где d выражается в см, C0E - в пФ/см2.
Находят составляющие относительной эксплуатационной погрешности емкости gC0, gCt, gCt и допустимую относительную погрешность площади верхней обкладки:
gS = gC - gC0 - gCt - gCt.
Определяют удельную емкость материала диэлектрика, обусловленную требованием точности номинала емкости конденсатора CoП = C(gS / DL)2[KC / (1 + KC)2], где KC = L/B - коэффициент формы конденсатора. Если нет особых требований к форме конденсатора, полагаем KC = 1.
Принимают расчетное значение удельной емкости материала диэлектрика C0P £ min{C0E, C0П}, которое должно отвечать технически реализуемым уровням C0 из табл.2.3 (Методические указания к выполнению курсовой работы).
Расчёт тонкоплёночных конденсаторов С1(0.01мкФ) и С2(0.01мкФ).
Из табл. 2.3 (Методические указания к выполнению курсовой работы) по значению Uр – рабочее напряжение конденсатора выбираем материал диэлектрика.
Выбранный материал - Моноокись германия (Табл. 3).
Табл. 3
Наименование материала диэлектрика | C0×10-3 , пФ/см | Uр, В | Е×10-6, В/cм | e | ac×104, 1 /oС | ТУ на материал |
Моноокись германия | 15 | 5 | 1.0 | 11...12 | 3 | ЕТО.021.014 ТУ |
Находим толщину диэлектрического слоя, обеспечивающую электрическую прочность конденсатора:
Определим удельную ёмкость диэлектрика, при которой выполняется требование к электрической прочности конденсатора:
Находим составляющие относительной эксплуатационной погрешности ёмкости:
Относительная погрешность ёмкости –
Относительная погрешность удельной ёмкости диэлектрика –
Относительная температурная погрешность ёмкости –
Относительная погрешность старения ёмкости –
Тогда допустимая погрешность площади верхней обкладки, равна:
Так как нет особых требований к форме конденсатора, полагаем KC = 1;
Абсолютные погрешности выполнения размера, характерные метода фотолитографии DB = DL = 0.01;
Определим удельную емкость материала диэлектрика, обусловленную требованием точности номинала емкости конденсатора: