из-за дефектов, обусловленных диффузией (для одной стадии)
из-за дефектов металлизации (на 1 мм2 площади)
из-за дефектов оксида (на 1 мм2 площади)
из-за дефектов от посторонних включений в корпусе (на 1 мм2 площади кристалла)
из-за поверхностных и структурных дефектов кристалла (на 1 мм2 площади кристалла)
из-за некачественного крепления кристалла
из-за обрыва термокомпрессионного сварного соединения
из-за повреждения корпуса
По этим значениям можно определить интенсивности отказов активных и пассивных элементов и элементов конструкции полупроводниковых ИМС с учетом стадийности диффузионных или других высокотемпературных процессов, реальных площадей элементов, металлизации и кристалла.
Поэтому в качестве компонентов ненадежности используют элементы структуры и конструкции полупроводниковой ИМС, значения интенсивностей отказов которых определяются выражениями:
| (4) |
| (5) |
| (6) |
где
К компонентам ненадежности относится также корпус и соединения, характеризующиеся значениями
В данном случае интенсивность отказов
| (7) |
где т — число групп элементов;
ni — число элементов данного типа с одинаковым режимом работы;
Порядок расчета надежности полупроводниковых ИМС по внезапным отказам физическим методом следующий.
1. По заданной принципиальной электрической схеме и разработанной топологии определяют число ni структурных элементов каждого типа и число т, mi типов элементов.
2. По топологии и маршрутной карте технологического процесса изготовления полупроводниковой ИМС определяют число диффузий
3. По топологии определяют площади структурных элементов каждого типа
4. Используя данные по интенсивностям отказов элементов структуры и конструкции, по выражениям (4) — (6) определяют значения
5. По заданным электрическим параметрам и принципиальной электрической схеме производят расчет электрического режима и определяют коэффициенты нагрузки kHi для активных и пассивных элементов (как при расчете гибридных ИМС). Коэффициент нагрузки kНМi наиболее нагруженных проводников металлизации (шины питания, сигнальные выходные шины и др.) определяют из выражения
| (8) |
где
6. Для заданной температуры и рассчитанных значений kнi по графикам рис. 6 и 8 определяют значения поправочных коэффициентов
7. По заданным условиям эксплуатации выбирают поправочные коэффициенты k1k2, и определяют ki = k1k2k3.
8. По полученным в п. 1, 4, 6 и 7 данным и выражению (7) рассчитывают интенсивность отказов
Для заданного времени t рассчитывают вероятность безотказной работы ИМС
| (9) |
ЛИТЕРАТУРА
1. Новиков Ю.В. Основы цифровой схемотехники. Базовые элементы и схемы. Методы проектирования. М.: Мир, 2001. - 379 с.
2. Новиков Ю.В., Скоробогатов П.К. Основы микропроцессорной техники. Курс лекций. М.: ИНТУИТ.РУ, 2003. - 440 с.
3. Пухальский Г.И., Новосельцева Т.Я. Цифровые устройства: Учеб. пособие для ВТУЗов. СПб.: Политехника, 2006. - 885 с.
4. Преснухин Л.Н., Воробьев Н.В., Шишкевич А.А. Расчет элементов цифровых устройств. М.: Высш. шк., 2001. - 526 с.
5. Букреев И.Н., Горячев В.И., Мансуров Б.М. Микроэлектронные схемы цифровых устройств. М.: Радио и связь, 2000. - 416 с.
6. Соломатин Н.М. Логические элементы ЭВМ. М.: Высш. шк., 2000. - 160 с.