Датчики перемещений (стр. 2 из 2)

1 – рабочая головка (тубус); 2, 3 – каретки; 4 – зеркала; 6 – измерительные головки; 7 – разделитель; 8 - лазер; 9 – призма.

Рисунок 5 - Схема координатного стола с лазерным интерферометром.

На рисунке 5 изображена схема координатного стола с лазерным интерферометром. У такого стола на верхней каретке установлены два взаимоперпендикулярных зеркала, представляющие собой подвижные плечи интерферометров. На тубусе рабочей головки установлены два зеркала неподвижных или интерферометров.

Таким образом, интерферометры отсчитывают взаимные перемещения по двум осям верхней каретки относительно неподвижной системы координат. Зеркала могут быть изготовлены с достаточно высокой плоскостностью, укладывающейся в десятые доли мкм. В процессе эксплуатации они не изнашиваются, так что заложенные в них точности сохраняются длительное время. Для обеспечения взаимной перпендикулярности зеркал с точность до долей угловых секунд используются специальные оптические приемы. Точность работы координатного стола в значительной степени зависит от точности работы интерферометров. На точность отсчета перемещений влияют два фактора - нестабильность частоты излучения лазера и изменение длины волны излучения от колебаний окружающей температуры, давления, влажности. Проблема стабилизации частоты лазерного излучения в настоящее время почти решена, кроме того возможна коррекция погрешности за счет информации от датчиков температуры, давления, влажности с помощью ЭВМ.

ЛИТЕРАТУРА

1. Проектирования радиоэлектронных средств: Учеб. пособие для вузов /О.В.Алексеев, А.А.Головков, И.Ю.Пивоваров и др.; Под ред. О.В.Алексеева. – М.: Высш. шк., 2000. – 479 с.

2. Технология радиоэлектронных устройств и автоматизация производства: Учебник/ А.П. Достанко, В.Л.Ланин, А.А. Хмыль, Л.П. Ануфриев; Под общ. ред. А.П. Достанко. – Мн.: Выш. шк., 2002

3. Справочник конструктора РЭА: Общие принципы конструирования/ Под ред. Р.Г. Варламова. - М.: Радио, 2000.